Pr

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Journées scientifiques du CNFRS " Nanosciences et
radioélectricité"
Paris, les 20 et 21 mars 2007
Contribution des faisceaux dions à lélaboration
de dispositifs pour lélectronique souple
Rémi Antony, Bruno Lucas, André Moliton, Bernard
Ratier
XLIM, UMR 6172, Département MINACOM 123 Avenue
Albert Thomas 87060 LIMOGES
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• Plan de lexposé
• Interaction ion-matière
• Lutilisation des faisceaux dions sur les
  dispositifs organiques
• Élaboration dITO par pulvérisation ionique
• sur verre et sur substrats plastiques
• -application à la réalisation de dispositifs sur
  substrats souples
• OLEDs, OTFTs
• -Densification des cathodes par dépôts assistés
  par faisceaux dions
• - cathodes en argent
• - cathodes en aluminium premiers résultats

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Électronique organique souple

• La production dénergie
• dispositifs nomades
• domotique
• Composants de base
• cellules photovoltaïques

Konarka

• Laffichage, les écrans
• dispositifs ergonomiques
• automobile, avionique
• affichage grande surface
• Composants de base
• diodes électroluminescentes
• transistors

(Universal Display Corporation)
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Interaction ion-matière
- cible (continuum délectron répartition
discrète datomes) - énergie des ions cédée à la
cible continûment aux électrons
collisions binaires avec les atomes
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Application à loptoélectronique organique souple
- diodes électroluminescentes (OLEDs) - cellules
photovoltaïques (OPVs)
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ITO obtenu par pulvérisation ionique

• Paramètres à optimiser
• Energie des ions
• Densité de courrant
• Type dions
• Flux doxygène
• Température de substrats

• Propriétés recherchées
• Transmittance T?90 (400nm-800nm)
• Résistance carrée Rc?20O/