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PôleFrancilienMicrosystèmes
ENS - Cachan SMC
Univ. Paris Sud IEF
Caractérisation Modélisation
Matériaux passifs à mémoire de forme
Structuration 3D de la surface
Matériaux actifs Transducteurs Sol-Gels
Photosensibles
Conception réalisation - de (micro)systèmes -
de lélectronique associée
Centrales technologiques Microsystèmes à
applications optiques
Microsystèmes à fonctions Hyper
Communication Traitement du signal
Procédés spécifiques (gravure profonde, ...)
Assemblages hétérogènes (Back-end, ...)
Un pôle regroupant des compétences des moyens
complémentaires.
Groupe ESIEE LSM
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ENS - Cachan SMC
Univ. Paris Sud IEF
Characterization Modelization
Passive Materials Shape memory alloys 3D
Surface Micromachining
Active Materials for Transducers
Photosensitive Sol-Gels
Design Fabrication - (micro)systems -
interface electronic circuits
IC Processing Facilities Microsystems for
Optical appl.
Microsystems for HF appl. Communication
Signal Processing
PôleFrancilienMicrosystèmes
Specific micromachining (Deep Reactive Ion
Etching, ...) Heterogeneous
Packaging (Back-end, ...)
A Regional Center gathering complementary
expertise equipment.
Groupe ESIEE LSM