LED Production-Epitaxial layer growth 20040965 ??? 20040953 ???

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LED Production-Epitaxial layer growth
20040965 ???
20040953 ???
2
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• Introduction
• LED? ???? ???
• LED ?? ????
• Production Outline
• MOCVD
• Epitaxial layer growth
• ????
• Reference

3
Introduction

• ?? ????(LED)

4
LED? ???? ???

• LED??? ??? ??? ?? ??? ?? ??, ?? ? ?? ?? ????.
• General ?
• Super ?
• Ultra ?

5
LED ?? ???? (?)

• InGaAlP MQW LED Structure
• ????? p-n????? ??? ???? ?? ??? ???? ????(QW)??
  ??? ????? ???.
• ?? ?? ? ???? ????? ????? n-?,?? ?,p-?? ??.
• ?? ???? ????????(multiple
  quantum well,MQW)??

6
LED ?? ????(ll)
7
Production Outline
8
MOCVD

GaAs ????
9
Epitaxial layer growth
Chip ????? ?? ?? ??
10
Epitaxial layer growth (ELO)

• Epitaxial lateral overgrowth (ELO)

• 1980?? ????- MOCVD,MBE ?? ??? GaAs,GaP,lNp??
  ELO????
• 1990?? ?? MOCVD,HVPE ?? ??? GaN? ELO ??? ???.
• SiO2? PECVD? ?? ? mask? patterning, ? ? ? GaN?
  MOCVD ???? window ?? (?? seed ??)???? ???? GaN?
  SiO2 mask ??? ?????? SiO2 mask ?? GaN? ??? ??
  ???? ?? ???? ???? ??
• wing ???? TD density 106 cm-2
• ?? ??? ???? ?? ?? ??? ?? ????? 2? ???? ???? ?
  ??

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Epitaxial layer growth( PE)

• Pendeo-epitaxy(PE)

• Pendeo epitaxy? maskless ELO??? ????, 2001? R.
  F. Davis ???? ?? ?? ??? ??
• GaN? Sapphire ?? ?? ??? ?, ???? ?? ???? ???
  patterning?? ? ?? ?? GaN? ????, ??? ?? ??? ??? ??
  ?? GaN ?? ??? ???? ?.
• ?? ??? ???? ?? ?? ??? ?? ????? 2? ???? ???? ?
  ???, SiO2 ?? mask? ???? ?? ??

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Epitaxial layer growth(FIELO)
FIELO (Facet-initiated ELO)
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Epitaxial layer growth(CE)

• Cantilever epitaxy (CE)
• SiC ??? Si ?? ?? GaN ??? ????? ??, ?? ??
• CE ??? ELO ??? ??? ???? ?? GaN seed ?? ?? ??
  ???? ?
• dartk pit density stripe? ltrench ???? CE
  GaN/SiC? ?? 9108 cm-2
• CE GaN/Si(111)? ??
  7.5109 cm-2
• wing ????? ? ?? ?? dark
  pit? ???? ???? ???

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Epitaxial layer growth(PSS)
Patterned sapphire??? ????
???? LED ????? ???? sapphire ????? ??? ??? ???
??? ? ? ?? GaN? ?????? ??? ?? ?? ???? GaN ??? ??
TD ??? ??? ????? ??? ? ? ??.
15
????

• ??? ?? ????(LED)
• ? ?? ?? AlGaAs, ? ?? ???? ? ?? InGaAlP ??
  ????(LED)? ? ?? GaN ??
• ??, ??? ??? ?? ????(LED)? ?? ?? ??? ??? ???.
• ???? ??
• ? ??? ????? ?? ?? ? ???? ??? ??? ?????, ?? ???
  ??? ??
• ????? ??? ?? ??? ????? ??? ???
• ????
• ????? ?? ???? ?? ??? ???? ???? ??? ????? ?? ??
• (Ohmic Contact)? ??? ? ?? ??? ??? ???? ?? ??? ???
  ???.

16
reference

• www.lumileds.com
• MOCVD ??? ?? ??? ??? ?? ???? ??? ? ??? ???? ??
  (1996,?????? ???)
• LED-????(???????????)
• www.aixtron.com