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3
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50KV ????? ??????? ?????? 8nm ?????
60nm/40nm ??????? 60nm/40nm ????
???????? ?????????
4
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??1????(25mm25mm)?? ????NEB-22A2 ????200nm200
nm linespace
200nm LS 200??
5mm
20µm
5µC/cm2 ? 9µC/cm2
80µm
5
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?? P/N ??
ZEP520 ?? ???????????
ZEP7000 ?? ???????????
NEB22 ?? ????????????
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?? P/N ??
OEBR ?? ???????????
ZEP2000 ?? ??????????????
6
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j01?x01?GDS?????????
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11
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12
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(-30500, 30500)
(30500, 30500)
(0, 0)
(-30500, -30500)
(30500, -30500)