Presentazione di PowerPoint

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Attività sul Diamante a Roma Tre
G. Conte Dipartimento di Fisica Via della Vasca
Navale, 84 00148 Roma CNR-IFN, INFN, CNISM
CAEN Viareggio, 24 Giugno 2011
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Contenuto

• Attività scientifiche in corso
• Dispositivi maturi per sviluppo
• Rivelatori UV e PSD
• MEDFETs, OpFETs
• Dosimetri per IMRT
• Facilities disponibili

Dosimetri
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Attività scientifiche in corso

• Transistori per alta frequenza e alta potenza
  (MEDFET)
• Switch ottici di potenza (OpFET)
• Dispositivi per spettroscopia di raggi X
• Imaging di sorgenti UV e X
• Dosimetri per radioterapia e riferimenti
  secondari
• Caratterizzazione comparata CCD substrati
  epitassiali (Diapix)
• Matrici con I stadio pre-amplificazione on-chip
  (Diapix)

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Qualità dei diamanti disponibili
JDoS Distribuzione in energia dei difetti
Posizione del livello di Fermi.
Meccanismi di trasporto della carica. Distribuzion
e difetti elettricamente attivi.
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1D UV PSD
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Rivelatori UV a larga banda
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Imaging di sorgenti UV.
Imaging of a discharge UV source.
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Spettroscopia di raggi X
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MEDFET T41-200x3.6 mm (2005)
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MEDFETs (2009)
-20 dB/dec.
fMAX 26.3 GHz
Single Crystal Diamond
fT 13.2 GHz
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UV Power Switch
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Dosimetri per IMRT
Prototypes of radiation detectors for clinical
dosimetry were constructed by using commercially
available synthetic diamonds of different quality.
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Progetto Diapix (WP3)
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Tecnologia (Clean Room Classe 10000)
Astex S1500

• 2.45 GHz Microwave deposition and treatment
  system ASTEX S1500
• DC and RF sputtering system with two magnetron 2
  head.
• PVD evaporation apparatus with two independent
  ovens.
• Quartz tubular heating furnace (1200 C) with
  Argon flow.
• Reactive Ion Etching (RIE) Plasmalab R80 for
  substrates up to 100 cm2.
• UV Photolithography room (Class 1000/10000)
  equipped with
• Karl Suss MA6 mask-aligner.
• Direct writing system with HeCd laser (max
  resolution 2.5 ?m)
• Spin coater for substrates up to 100 cm2.
• Pre-baking and post backing ovens
• Confocal Olimpus Microscopy.
• Wet etching station..

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Tecniche di caratterizzazione

• Electrical
• Helium gas exchange Cryostat I(V,T), C(V,w,T)
• Impedance Spectroscopy, 1 mHz-10 MHz, Solartron
  FRA 1250, IS1260, HP4192A, .
• Karl-Suss Rp8, Rucker-Rull probers.
• Optoelectronic
• UV Transient photoconductivity (ArF laser 3ns.,
  2.5 mJ/pulse), LeCroy Wavepro 960.
• Spectrally resolved photoconductivity, Spex
  Tandem 1687b, 50 cm.
• Spectral response UV-VIS-NIR (0.6-3.5 eV) Spex
  1681, 25 cm.
• X-ray modulated photoconductivity (flt1kHz, Cu
  8.06 keV)
• Time of Flight with 241Am alpha particles under
  vacuum.
• 90Sr, 241Am, 55Fe PHD Diamond characterization
  (Ortec 142IH, Amptek MCA PX4).