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2005 ?????????????????? Fab12A ? ?????????????

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15
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• ?????(MAU, Makeup Air Unit )
• ??????(Process Exhaust System)
• ????????(SCHP, Secondary Chilled Water Pump)
• ???????(PCW, Process Cooling Water)

16
?????(MAU, Makeup Air Unit )

• MAU?????????,????????????,???????????
• ???????MAU????,??????????MAU???????,??????????
• ??????????,?PLC??,?? MAU ????

17
?????????(1)

• MAU System 1
• ?????? 4,500,000 CMH
• ??MAU????,????????,?????45Hz ?? 31 Hz
• ?????? 185 kW ?? 40 kW
• ???? ( 185 x 3 ) ( 40 x 5 ) 355 kW
• 355kW 24hr 365day 3,109,800kWh/?

18
?????????(2)

• MAU System 2
• ?????? 132,000 CMH
• ??MAU????,????????, ?????42Hz?? 26 Hz
• ?????? 185kW ?? 23 kW
• ???? ( 185 x 1 ) ( 23 x 2 ) 139 kW
• 139kW 24hr 365day 1,217,640kWh/?

• ??????
• ??????? 4,327,400kWh/?
• ?????? NT 6,900,000

19
??????(Process Exhaust)

• ???????????????,???????????,???????????
• AT(Acid Toxic) exhaust??
• AK(Akaline) exhaust??
• General exhaust??
• Solvent exhaust??
• VOC???????????

20
??????????
21
????????(SCHP)

• ???????????????,??????????,?????/??,?????????????
• ?????????? 60Hz ??? 38Hz
• ?????? 60Hz ??? 41Hz

22
???????(PCW)

• ???????????????,??????????,?????/??,?????????????
• ???????????60Hz???57Hz????????????

23
?????????????????
24
????!
???????????????,??????!