1.1 ??????????-?????????? ???????? ?????? ???????? ?????????? ? ?? ????????????? ? ?????? ??????

1
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??????????? ??????????.
2

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  ??????????? ??????
• 1.1 ??????????-?????????? ???????? ??????
  ???????? ?????????? ? ?? ????????????? ? ??????
  ??????
• 1.2 ????????? ???????? ?????????????? ????????
  ?????????? ? ?????? ??????.
• 2. ???????????? ???????????? ?? ?????? ??????????
  ??????????? ?????????????? ?????-????.
• 3. ????????? ??????????? ??????????? ???????? ?
  ??????????? 30 ?? ? ?????????????? ?????????????
  ??????????? ?????
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3
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4
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5
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?????????? ??????. ?????? 1, 2, 3 ?????????
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0.307. ????????????????? ?????? ????????????
??????? - 0.077, - 0.154, -
0.307.
8
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???????? ?????????? ? ?? ????????????? ? ??????
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?????????????? ??????

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  ???????????? ?? ????? 20
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  ??????????? ?????????? ???????? ? ???????
  ???????????? ?????????? ???????? ??? ?????? ???
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• ????????? ?????????? ?????? ??? ???????????
  ???????????? ????????? 1??

9
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10
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11
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??????? ????????????? ????????? ?????
1
2
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2 - ? ?????????????
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???????.
12

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  ??????????? ?????????
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  ?????????? ?????????????? ?????-????

13
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??????????? ?????????????? ?????-????.

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?????????.
????????? ??????????????? 10-4
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?????????? ????????? ?? ?????????? ???????????
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13
14
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??????????? ?????????? ???????? ?????????????
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????????? ??? ???????????? ? ?????? ?????? ??
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,
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??????? ?????? ?????????? ???????? ?????????.
??????????? a(R), ??????????? ? ???????????? ?
?????????? (3) ??? ????????? ? ???????????
?4,15???, n11,467, n21,462 ??? ????? ?????
????????????? ????????? ?1,55??? ??? ?????????
????????? ?????????? ??????????? ??????? ??
????????? ? ????????? ????? n3.
14
15
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??????? ????? ??? ????????? ???????? ??? ??????
???????????? ? ??????? ????????????????
0,077 0,71
??????????? ?????? ????????????????? ?????????? ?
????????? ?????????-?????????? ??????????
?????-???? ?? ?????????? ??????????? ???????
????? ??? ??????? ?????? ?????????????? 9,7??
(?????? ), 10,7?? (?????? ?), 10,1?? (?????? ?),
? ?????? ????????? (?????? )
????????? ???????????????? 510-6.
15
16
????????? ??????????? ??????????? ???????? ?
?????????????? ????????????? ??????????? ?????
17
(No Transcript)
18
(No Transcript)
19
(No Transcript)
20
(No Transcript)
21
(No Transcript)
22
(No Transcript)
23
(No Transcript)
24
(No Transcript)
25
(No Transcript)
26
(No Transcript)
27
(No Transcript)
28
???????????? ???????
29
???????????? ???????
30
???????????? ???????
31
???????????? ???????
32
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33
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34
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35
???????????? ???????
36
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??????? ????????? ???????? ? ?????? ???????????
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????????? ?????????? ? ???????? ?????? d?, ??
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37
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????????? ? ????? ?????????????? ?????-????
????????? ?????????? ? ???????? ?????? d?, ??
????? ?????????? ?????????? ????? ?????????? ?
??????????? ????????
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
38
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??????? ????????? ???????? ? ?????? ???????????
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????????? ? ????? ?????????????? ?????-????
????????? ?????????? ? ???????? ?????? d?, ??
????? ?????????? ?????????? ????? ?????????? ?
??????????? ????????
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
39
???? ?? ?????? ?????????????? ?????-????
??????? ????????? ???????? ? ?????? ???????????
???? ???? ? ??????????????
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????????? ? ????? ?????????????? ?????-????
????????? ?????????? ? ???????? ?????? d?, ??
????? ?????????? ?????????? ????? ?????????? ?
??????????? ????????
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40
???? ?? ?????? ?????????????? ?????-????
??????? ????????? ???????? ? ?????? ???????????
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????????? ? ????? ?????????????? ?????-????
????????? ?????????? ? ???????? ?????? d?, ??
????? ?????????? ?????????? ????? ?????????? ?
??????????? ????????
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
41
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B.
A.
(A)
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?????????? ?????-???? (A) ? ?? ?????? ???????????
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h
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?????????? h/L ??? ???????? ? ????????? ?????????
a0,7 (D8?)
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??????????? ??????????? ???????
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
42
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???????? ?????????????? ?????????? ???????? ?
???????? ???????? ??????????? 300 ??
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
43
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D8?
D?/15
D?/40
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?????? D8?, D?/15, D?/40. ?????????????????
???????????????? ? ??????????? ???????????
??????? ?????????????? ? 2 ???? ?????? ????????,
??????????? ??? ????????? ?????????????.
??????????? ??/?(h) ??? ??????????????
???????????? ??????????? ???????????? ???????
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?????????? 10 ??.
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
44
?????????? ?????????????????? ????? ?????
?????????? ???????????? ??????? ??????????????
???????????? ??????? ? ????????? ???????
?????????????? ?? ????? ????????????
??????????? ?????? ?????? ???? ?????????? ???????
??????? ??????? ???????? ? ??????????
??????????? ??????????????
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
45
???????? ???????? ????? ? ?????????????? ????????
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
46
?????????? ?????????????????? ???????????? ?????
? ?????????????? ????????
?????????????? ?????? ?? ????? ???????????
????????? ???????????? ??????? ???????????
????????? ????????? ? ?????????? ???????????
???????????? Ge ? ???????? HF ? NH4OH
????? ????????????????? ?????????
? ???????? ????????? ??????? ?????????????
?????????? ??????-???????? ?????????? ????????
?????? ??????? ??????.
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
47
?????????? ?????????????????? ???????????? ?????
? ?????????????? ????????
30
??????????? ?????????????? ???????? ????????????
????????? e(h/L) ??? ???????????? ???????????
????????? ??????? ???????????? ????????? ???
?????? ????????? ? ????????? D100 nm ? D50 nm.
? ???????? ????????? ??????? ?????????????
?????????? ??????-???????? ?????????? ????????
?????? ??????? ??????.
??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
48
??????????? ??????????? ???????? ????????????
??????????? ????? ?? ?????? ?????????-???????????
?????????????? ?????-???? ? ???????????
??????????, ?????????????? ? ??? ???????? ???????
???????????????? ? ???????? ?? ??????
???????-??????????? ?????? ???????????
??????????? ???????? ?????? ???????????
?????????? d? ? ?????????????? ?????-???? ??
????????? ?????????? h ????? ???????? ???????? ?
?????????? ??? ?????? ????????? D ????????.
?????????????????? ???????????? ???????????
?????????? 30 ??, ???????????? 15 ?? ???
????????????? ????????? ?/50 ? ?/100 ??? ?????
????? ?1550 ??.

??????? ?.?., ?????? ?.?., ???????? ?.?.
49
????????????? ?????????????? ???? ??? ????????
??????????? ??????????? ? ??????????? ?? ???? 30
nm
50
l/2
Far-field Optics
l/2
Vitrik O.B, Kulchin Yu.N., Kuchmizhak A.A.
51
b).
Relative full width at half maximum ?1/2/? (curve
1) and SNR (curve 2) as a functions of the
relative diameter of the truncated cone tip d/? .
Central cross-sections of the laser radiation
obtained for different values of the truncated
cone tip d at the distance of 50 nm from the
probe. Inset A shows the distribution of the
TE-field component ?z in the vicinity of the
dielectric apertureless probe made in the form of
truncated cone with d240 nm.
Vitrik O.B, Kulchin Yu.N., Kuchmizhak A.A.
52
Electron micrographs and AFM-images of apertures
fabricated in the 50 nm-gold film by single laser
pulse