????????????????????????????????????????????????????? (MEMS)????????

1
Introduction (? ?)
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1. ???????? 2. ??????????? 3. ????????????? 4.
???????????? 5. ??????????????? 6. ????????
?????????????
??????????????????????????????????????????????????
??? (MEMS)????????
2
? ?
?????????
1. ?????? 2. ??????? 3. ??????
? 1-1 ?????????
?? (objectives) ???? (inputs) ????? (actuating
signals) u,??????? (outputs) ????? (controlled
variables) y?
3
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? ??????? ? ?????? ? ??????????? ?
??????? ? ?????? ..
4
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????????(1) ????????,??????????????????(2)
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????? ? ????? TL (????????????,????????) ???,????
? ????,?????????????
? 1-2 ??????
5
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? 1-3 ??????
??????
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tb,??????? tps ??????????????? C ?,??? (??????)
???????
? 1-4 ???????????-?????????????
6
? ?
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? 1-5 ??????
7
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???,?????????????????????? (????????)????????????
?
? 1-6 ?????????????
8
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??????????????????
?????????????????????????,???????????
? 1-7 ?????????????
9
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? ??????? (?????)
? 1-8 ???????????
??????????????????????????,?????????????????,?????
???????????
???????????????
????????,???????
10
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?????????????????????? (closed-loop system)?
? ??????? (??????)
?????????
? 1-9 ?????????????
???????????????????????,??????????? (regulator
system)?
11
? ?
? ??????? (??????)
??????????????????
? 1-10 (a) ?????????????? (b)
??????????????
12
? ?
? ???????????
????????? (cause-and-effect relationships)
??????????????,??????
? ?????????
?????-????
(1-1)
r ?????,y ?????,e ?????,? b ??????? G ? H
?????????
? 1-11 ????
13
??????(negative feedback amplifier)

• ?????(stability)?????(frequency
  response)?????????(robustness)

14
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• ??????????????????,???????????

? ?????????
(1-2)

• ????????
• ????????
• ??

• ????????
• ???

GH ?1 ????? ????????
GH ?1 ?????????????,?????????????????? F
???????
? 1-12 ?????????????
15
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(1-3)
(1-4)
???????? ?????
? 1-11 ????
??????,? GH ??????,1 GH ???????????? 1?
16
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? 1-13 ????????
??????????
?????????,??,???????
17
? ?
? ?????????
???????????????????????
?????????
1) ?? (linear) ???? (nonlinear) 2) ??
(time-varying) ???? (time-invariant)
?????????
1) ???? (continuous-data) ????? (discrete-data)
?? 2) ?? (modulated) ???? (unmodulated) ??
?????????????
???????????
?? ?????? (position-control system) ???????
(velocity-control system)?
? ?????????????
???????????????????????
????,???????????
????????????
18
? ?
? ???????????
????????,????????????,????????????
????????,???????????????????
? ????????
????????????
??????????????????? t ???, ?????????????
???????
19
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?????????????????
20
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?????????,?????????????????
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????????????????????????????????????
21
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??????????????????????????????
??????????????????????????????
? ???????????
? 1-16 ???????????
?????????? r(t) ?????,???? e(t) ????? (???)
????,???????????????
?????????????
22
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? 1-17 ?????????????