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• 100 5000 psi

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• ? ? ? ?
• ?? ?? ?????? ? ?? ??
• Na, K, Ca, Mg, Fe, Cl, CO3, SO4?? ??
• ?? ? ????? ??
• ??? ? ??? ??
• 2?? ??, 3-0.2 mg??? ??? ??

• ? ? ? ?
• ?????? ?? ??
• ?? prefiltration, reverse osmosis, deionization
  
• with ion exchange resin,
  filtration? 4??
• ??? 18??

12
? ?? ?? ? ????

• ????? ???? ?? ?? ??
• ??? ??? ??? ??
• ?? ?? ??(??, ????, ?? ??, ??? ??)
• ?? ? ?? ? ??
• ???? ???? ?? ??

13
? ? ?(Hydrochloric acid)
?? ?? ?? ???
37 1.18 12 M 120?

• ???? ?
• ?? ???? ??
• Ag, Hg, Tl, Pb? ?? ??? ?? ??
• ??? ?? ?? ? ???, ????, ???, ???, ???? ???? ??
• ??, ??, ????, ??, ???, ????? ??? ??? ??

14
? ? ?(Nitric acid)
?? ?? ?? ???
70 1.41 15.7 M 140?

• ??? ??? ??? ?? ? ???? ?? ? ??
• ???? ???? ??, ????? ??? ? ??
• ??? ?? ??Al, Be, Co, Ni, Mn, Nb, Ta, W
• ??? ??? ???? ?? ??
• ???? ??? ?? ??

15
? ? ?(Sulfuric acid)
?? ?? ?? ???
98 1.84 18 M 338?

• ???? ? ???, ???? ? ???
• ?? ??? ?? ??? ?? ? ??
• HF? ??? ??? ???? ???? HF? ???
• ??? ???Sr, Ba, Pb
• ???, ????, ???, ??? ?? ??
• ?? ?? As, Sb, Mo? ? ?? ? ??
• H2SO4, (NH4)2SO4? ??? ???? ???? ??(360?)??? ??
  ??

16
? ????(Perchloric acid
?? ?? ?? ???
70 1.66 11.6 M 220?

• ??, ??, ???? ??? ??
• HF? ?? ? HF ???? ???
• 70 ???? ??? ??
• ??????13, ????????131 ??
• ??? ??? ? ?? ??
• ???? ??? ??? ??

17
? ????????(Hydrofluoric acid
?? ?? ?? ???
48 1.15 27.6 M 120?

• ????, ??? ???? ?
• ????? ???? ??
• ??? ?? ?? ??? ?, Ti, Nb, Ta, Zr ??
• As, B, Mo,Os, Nb, Ta ?? ??? ? ?? ??
• ???? ??, ??? ?? ??
• ICP ? ICP-MS ??? ??, ??? ??? ??

18
? ??(Phosphoric acid
?? ?? ?? ???
85 158?

• ???? ????
• ??? ?? ??
• ?? ?? ??? ??? ?? ??

? ???(Mixed acid

• ??? ?? ??, ??? ??
• ?? ?? ??
• Nitrosyl sulfate, NO2 ???? ?? ??? ??? ?

19
? ??? ??(Hydrogen peroxide

• ?? ?? ? 30 H2O2 ??
• ?? ???(?? ??? ??? ?? ? ??? ??)
• ???, ??? ???
• Cl2, MnO4-, Cr2O72-, Ce4, ClO- ???
• ??? ??? ??? ?? ??
• ??? ?? ? ??? ??

? ?? ? ??? ??? ??? ??? ? ??? ?? ??
? ?? ?? ? HNO3 ?? ?? ? H2SO4 , H3PO4
20
? ? ?Flux
?? ??? ???? ?? ??? ???? ?? ?? ? ???? ??
? ????Acidic Flux
??? ??? ??? ?? ?? KHSO4(K2S2O7), KHF2, B2O3
? ???? ??? ??Non-oxidation Alkaline Flux

• ??? ??(Na2CO3, K2CO3, Li2CO3)
• - ???? ?? ??? ?? ?? ??
• ??? ??(NaOH, KOH)
• - Silicon carbide ? ??
• Borax(Na2B4O7)
• - ?? ??? ??

21
? ??? ??? ??oxidation Alkaline Flux

• ??? ??? ??? ??(Na2O2)
• - ???, ???, ??? ??
• NaOH? ?? ??
• ????? ???? ??? ?? ??

22
? ? ? ? ?
HNO3 (Not dissolved)
23
? ? ? ? ?
HNO3 (Volatile compound )
24
? ? ? ? ?
HCl (Not dissolved)
25
? ? ? ? ?
HCl (Volatile compound)
26
? ? ? ? ?
H2SO4 (Not dissolved)
27
? ? ? ? ?
H2SO4 (Volatile compound )
28
? ? ? ? ?
HClO4 (Not dissolved)
29
? ? ? ? ?
HClO4 (Volatile compound )
30
? ? ? ? ?
HF (Volatile compound )
31
? ? ?

• ?? ???

??? ???? Cleaning
??????? ???? ??? ?? ? ??? ?? 11 ?? ?? ?? ??
?? ?? ?? ?? ?? ? ??, HCl??? ? Na2CO3K2CO3 ??
??, ?? ?? ?? ?? KHSO4 ??

• ?? ???

?? ?? ? ?
???? NaOH ?? HCl? ??? ???? ? ??? ?? Fe, Co??? ??? ?
32
? ? ?

• Zr ???

?? ?? ? ?
500-600? ??? ??? ?? ??? ? ?? Zr ?? ??? ?? HF?? ?? ??

• ? ?

?? ?? ? ?
?????? ?? alkali bisulfate ?? ?? ???? ???
33
? ? ?

• Pyrex(??? ??)

? ? ? ?
? ? ??? ?? SiO2? ?? ? ???? ???? ???? ?? ?? HF? H3PO4?? ?? SiO2, Na ? ?? ?? ?? ??? ??? ???? , ?? ??, ???? ?? ??

• Polyethylene (PE)

? ? ? ?
????? ???, ??, HF ?? ?? ??? ?? ?? ??, ??? ?? ???? 105-120?(80?) ???? ?? ?? ?? ??? ?? ??
34
? ? ?

• Polypropylene (PP)

? ? ? ?
HF? ???, ?? ??, ?? ?? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ?? ???? 125-135?(80?) ???? ?? ??

• Teflon (PTFE)

? ? ? ?
????? ?? ??? ? ???? 300? HF ??? ?? ????, ??? ?? ??? ?? ?? ?? ??? ?? ???, ?? ?? ??
35
? ? ?

• Perfluoroalkoxy fluorocarbon (PFA)

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??? ?? Teflon? ?? -270-260? ?? ??? ?? ??? ??
36
? ????? ???? ??? ??

• ?? ?? ??

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?? ?? ? ?? ??? ??? ??
Grease??CHCl3, CH2Cl2, ?????? ??
Cleaning? ??? ?? ? ?? ? ?? ? ??
Cleaning?? ?? ???? ?? 70??????? ??
???? ?????, ??? ?? ??
??? ????? K2Cr2O7-H2SO4 ??? ?? ?) Cr ????????? ?? ?? ??? ?? ??
?? ? ????? ?? ???? ??
?? ? ?? ?? ?? ??? ? ??? ????
PLASTIC? ???? ???? ??? ??(11 ??, ?? ?? 1? ??)???? ??
37
? ????? ???? ??? ??

• ??? ??? ?? ? ??

? ? ? ? ?? ? ????
? ???, ??? Poor cleaner, ????
?? ??, ???? 2(50?) ????
??? Alcoholic KOH KOH 10gH2O5mlMeOH 100ml ??? ??, ???, ???? ?? ??
??? NH4OHEDTA Hot
?? K2Cr2O7H2SO4 15g K2Cr2O7500 ml H2SO4 ??? ?? Cr6 ??, ?? ??
?? Fuming HNO3 ??? ??
?? H2SO4HNO3 13, 31, 11 ???
?? (NH4)2S2O8H2SO4 16g/L ???? ?? ??
?? HClHNO3 31
38
? ????? ???? ??? ??

• ??? ??? ?? ? ??

? ? ? ? ?? ? ????
? ? HCl, HNO3 11 ??, ??
? ? H2SO4H2O2 11(?? ??) ??, ??
???? ??? ??, ??, ?? ?? ? ??? ?? ??
???? ?? ???, IPA, ???, MEK ?? ? ??? ?? ??
???? ??? CHCl3, CH2Cl2 ?? ? ??? ?? ??
39
? ?? ? ?? ??
??? ????
??? 0.5-1g ?????? 5-10g ?? 100-500ml
??, ??, ??? ??
40
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?? ??? ??? ???? ??? ???, ??? ?? ??? ?? ?????? ?? ??? ??? ?
?? ?? ? ???? ??, ??? ?? ?? ? ???? ??, ??? ??
?? ? ? ? ?? ?? ?? ????, ??????? ?? ???? ????? ??? ?? ??? ?? ? ??(Oil??)
?? ???? ? ?? ??? ??
?? ??,?? ?? ?? ? 4?? ?? 50g?? ? 10g?? 200mash ??
?? ??? ?? ? ?? ?? ??, ???? ???? HFHClO4 ?? ??? ??? ?? ? ?? ?? ??, ???? ???? HFHClO4 ?? ???
??? ?? ? ??? ?? ?? ? ??? ??
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41
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42
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43
? ??? ??

• ??? ??? ??? ??

• Water ? 100 ? for soluble inorganic (acidify)
• Acid ? 300 ?
• ? Non oxidizing acids HCl, HF, HBr, cold
  dil. H2SO4
• ? Oxidizing acids HNO3, HClO4, hot conc,
  H2SO4
• Alkalis 100 ?, NaOH, KOH
• Fusion 500 - 1100 ?
• ? Alkaline flux Na2CO3, K2CO3, NaOH, KOH,
  Na2B4O7
• ? Acidc flux KHSO4, KHF2

• ?? ??? ??? ??

• Acid digestion bomb 165-275 ?, 12oo-5000 psi,
  st-steel
• Microwave 100-250 ?, 100-1200 psi, polymer bomb

44
? ??? ??

• ??? ??? ??? ??

• Water ? 100 ? for soluble organic (acidify)
• Organic solvent ? 100 ?
• Dry ashing ? 500 ?
• Wet ashing ? 300 ?
• ? Oxidizing acids HNO3, HClO4, HNO3-H2O2,
  HNO3-H2SO4
• HNO3-HClO4..
• Fusion 500 1000 ?
• ? Alkaline flux Na2CO3, K2CO3, NaOH, KOH,
  Na2B4O7
• ? Acidc flux KHSO4, KHF2

• ?? ??? ??? ??

• Acid digestion bomb 165-275 ?, 12oo-5000 psi,
  st-steel
• Microwave 100-250 ?, 100-1200 psi, polymer bomb

45
? Ashing ??

• Dry Ashing

• ??? ?? ? ?? ??
• ?? ? ????? ??
• ???? 450- 500 ?
• ? ??
• ?? ?? ?? ?? ??
• ???? ?? ??? ??.
• ????? ??? ????.
• ??? ????? ????.
• ? ??
• Ashing?? ??? ????? ??.
• ????? ?? ????? ??.(Hg, As, Cd, Zn, Sn?)
• ??? ?? ?? ??? ??.
• ?????? ??.

46
? ??? ??
????
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?????
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????
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??? ??, ??? ??? ??? ?? ??? ?? ??
? ?
???
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47
ug/ml
48
??? ??? ??? ?? ??? ?? ? ???? ?????