1
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?????????? ??????? ?? ?????????
?.?. ???????????, ?.?. ???????, ?.?. ???????
??????????? ??????????????? ???????????
??????? ftt_at_phys.vsu.ru www.phys.vsu.ru/ssp
2
?????? ????????????

• ???????????? ????????????? ???????????
  ?????????????
• USXES (ultrasoft X-ray emission spectroscopy)
• - ??????????? ???-500
• - ??????? ??????? 60 ??
• ?????? ? ??????? ?????? 10-6????
• - ???? 40 ???
• ?????????? 0.2 ??

????????????? ??????? ?????? ????????? ????
?????????????? ?????????? XANES (X-ray
absorption near edge structure) - SRC,
University Wisconsin-Madison, Stoughton,
USA. - ????? MARK V - ??????? ??????? 5 ?? -
?????? ? ??????? ?????? 10-10???? - ???? 20
??? - ?????????? 0.1 ?? - BESSY II, Berlin,
Germany. - ????? RGBL - ??????? ??????? 5 ?? -
?????? ? ??????? ?????? 10-10???? - ???? 40
??? - ?????????? 0.1 ??
????????????? ????????? XRD (X-ray
diffraction) - ???????????? ????-4-07
3
??????? ????????????
????????? ???? ??? (??????? ?? ?????????) -
???????? ???????????????????? ??????? Si (100) -
???? ?????? ??????? SiO2 150 ?? - ????
??????????? ??????? ( 10 ??? 100 ??)
4
XANES (SRC)
??????????
XANES Si L2,3 ??????? ????????? ???????? (?90).
XANES Si L2,3 ??????? ???????????????? ???????
(?90-10).
5
XANES (SRC)
??????????
XANES Si L2,3 ??????? ??????? ???????
??????????? ???????, ??? ????????? ?????????
???? ?????????? ?.
XANES Si L2,3 ??????? ??????? ???????
??????????? ???????, ??? ????????? ?????????
???? ?????????? ?.
6
XANES (BESSY)
??????????
2LDn(n2 sin2q)1/2
XANES Si L2,3 ??????? ??????? ???????
??????????? ???????, ??? ????????? ?????????
???? ?????????? ?.
XANES Si L2,3 ??????? ??????? ???????
??????????? ???????, ??? ????????? ?????????
???? ?????????? ?.
7
XRD
??????????
a0.5395 ?? d0.1348 ??
a0.5430 ?? d0.1358 ??
?????????????? ????? (400) ?? ???????? ???
??????? (Dark sample) ? ??????????? (Gold
sample)
8
USXES
??????????
Si L2,3 USXES ??????? ??????????? ??????? ?
????????? ??????? ???????? ???????
DE(??) 8 2.2R(A)
R 2.3(A) (c-Si) R 2.6 (A) (strained Si)
L. Ley, R.A. Pollak, S.R. Kowalczyk, R.
McFeely and D. Shirley Phys. Rev B8, 641 (1973).
9
??????
1. ??????????????????? ??????? ???????????
?????????? ?????????? ???????? ???????????
??????? ? ?????????? ??????????? ?? ????????? ?
???????? ? ??????? ??????? ?? ????????? ??
0.0035 ?? ?? ????????? ? ??????????
??????????????????? ????????. 2. ????????
??????????? ????? ?????????? ?, ??? ???????
?????????? ???????????? ??????? ????????? ??
????? ???? ?????????? ? ??? ????????????
????????? ???????????? ?? ?????. 3. ??? ?????
????? ?????????? ?? ?? ??????? (?lt21º) ?
????????? ??? ? ????????? ??????? 83 ??
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?????????????? ??????? ???????? ???? ?????????? ?
(Si L2,3) 100 ??. 4. ?? ?????????? ?????
?????????????????? ?????????? ????????? ??????
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????????????? ??????????? ???????? ??????????
?????????? ??????? ??????? 0,3 ?.
?????? ?????? ????????? ??? ?????????
??????????? ??????? ????????? ??????? ?
??????-?????????????? ????? ?????????????
?????? ?? 2009-2013 ????
?????? ?????? ???????? ????????? ?? the
Synchrotron Radiation Center, University of
Wisconsin-Madison, ??? ????????? NSF ?????
No.DMR-0537588.