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Mesures chaud. Mesures froid. ENUMERATION DES SOLUTIONS. Zygo et Wyko. Triangulation ... A chaud. R glages primaires des tables. Pleine lumi re. Premi res ... – PowerPoint PPT presentation

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1
PLANOMETRE
2
DESCRIPTION DES BESOINS
  • Mesurer la planéité des CCD
  • Mesurer la coplanarité de plusieurs matrices
  • Mesures à chaud
  • Mesures à froid

3
ENUMERATION DES SOLUTIONS
  • Zygo et Wyko
  • Triangulation laser
  • Système à reconnaissance de formes
  • Microscope
  • Stéréoscope (planomètre)

4
DESCRIPTION DU PLANOMETRE
  • Schéma de principe

Cas 2
Cas 1
Cas 3
5
(No Transcript)
6
DEUX MODES POSSIBLES
  • Mode subjectif
  • A chaud
  • Réglages primaires des tables
  • Pleine lumière
  • Premières mesures
  • Mode objectif
  • A froid
  • Réglages fins
  • Mesures précises ( 5 µm)
  • Système déclairage
  • Obscurité

7
Etat davancement
  • Terminée
  • Terminée
  • Terminé
  • Terminée
  • Méthode estimée
  • Mesurée 5µm
  • Optique
  • Mécanique
  • Pilotageinformatique
  • Electronique
  • Traitement des données
  • Précision
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