?????? ????? ??????? ??????? ??????? Si/SiO2 ?????????????? ???-??????????? ? ????? TCAD Sentaurus - PowerPoint PPT Presentation

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?????? ????? ??????? ??????? ??????? Si/SiO2 ?????????????? ???-??????????? ? ????? TCAD Sentaurus

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Si/SiO2 - TCAD Sentaurus – PowerPoint PPT presentation

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Title: ?????? ????? ??????? ??????? ??????? Si/SiO2 ?????????????? ???-??????????? ? ????? TCAD Sentaurus


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Sentaurus
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  • Zhao Y., et al// IEEE Transactions on Electron
    Devices. - 2010. - V. 57. - ?. 9. - P. 2057-2064

9
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    ??????? Si/SiO2

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