?????? ????? ??????? ??????? ??????? Si/SiO2 ?????????????? ???-??????????? ? ????? TCAD Sentaurus - PowerPoint PPT Presentation

About This Presentation
Title:

?????? ????? ??????? ??????? ??????? Si/SiO2 ?????????????? ???-??????????? ? ????? TCAD Sentaurus

Description:

Si/SiO2 - TCAD Sentaurus – PowerPoint PPT presentation

Number of Views:130
Avg rating:3.0/5.0
Slides: 15
Provided by: AlmaM5
Category:
Tags: sio2 | tcad | sentaurus | tcad

less

Transcript and Presenter's Notes

Title: ?????? ????? ??????? ??????? ??????? Si/SiO2 ?????????????? ???-??????????? ? ????? TCAD Sentaurus


1
?????? ????? ??????? ??????? ??????? Si/SiO2
?????????????? ???-??????????? ? ????? TCAD
Sentaurus
  • ?.?. ??????????, ?.?. ??????????, ?.?. ????????,
    ?.?.????????, ?.?. ????????
  • ???????????? ????????????????? ??????????? ????

2
??????????
  • ????????
  • ?????????????? ??????? ? ?????????????
    ????????????
  • ????????? ?????? ? ?????? ????????? ??
    ??????????? ???????
  • ??????????

3
????????
  • ??? ????????? ???? ????????????? ?????????
    ??????? ???????? ? ??????????? ??????????
    ???????? ? ???????? ??????????????? ???????
    ???????.
  • ?????? ???????????? ?????????? ??????? ?
    ????????? ??????? ??????????? ?????????,
    ???????????? ? ??????? ???????????? ????????????
    TCAD Sentaurus ? ?????? ??????? ??????? ??
    ??????? Si/SiO2.

4
?????????????? ???????
  • ???????????? ????????????? ?????????? ???????
  • ?????? ??????? ??????? Si/SiO2
  • ????????????? ???? ????? (LER line edge
    roughness)
  • ??????????????? ????????? ?????????????? ????? ?
    ?????????? ???????? ????? ?????? ??????
    ????????.

5
??????? ??????? Si/SiO2
  • ?????????????? ??????? ?????????? ?????????? ?
    ???????????? ????? ????????
  • ?????????????? ????????? ????????? ? ????????????
    ????
  • ????????? ????????? ?? ????????????? ???????
    ?????????? ? ?????? ???????????? ??????????????
    ???? ? ??????.

6
3D ?????? ??????????? Si
??? ??????????? ????????? ??????????? ??????????
????????
7
?????? ? ?????? ?????????
  • ???????? ????????? ????????? ?????????, ?????????
    ? ???????? ??????? Si/SiO2
  • ????????? ?? ???????????? ???????
  • ????????? ?? ??????????????? ???????
  • ??? F- - ?????????? ????????????? ????,
    ???????????????? ? ??????? ??????? Si/SiO2,
    Fref1 ?/??, A2, d, ? - ?????????????
    ???????????? ??????

8
????????? ? ?????????????
  • ??????????? ??????????? µsr ?? ????????? ??????
    ? ???????????? ???? (1 ??????????? , 2
    ?????? ??? ???????? ????????, 3 ?????? ???
    ???????? ?????????? ???????)
  • Zhao Y., et al// IEEE Transactions on Electron
    Devices. - 2010. - V. 57. - ?. 9. - P. 2057-2064

9
?????? ??? ???-???????????
  • ????????? ??????????? ? ?????????? ?????????????
    ????-???????? ? ??????????????? ??????? 45 ??.

10
????????? ??????
  • ?)
    ?)
  • ????????????? ?????????????? ???? ? ??????
    ???-??????????? ??? ?????? (?) ? ??????????? (?)
    ??????? Si/SiO2

11
????????????? ???????????
  • ?????? ??????????? ?????????
  • ????????? ?? ???????????? ??????? (?ac)
  • ????????? ?? ??????? Si/SiO2 (?sr)
  • ??? ?b ???????? ???????????, x ?????????? ??
    ??????? ??????? Si/SiO2 , lcrit
    ?????????????????? ?????

12
??????????? ??????????
  • ?)
    ?)
  • ????????????? ??????????? ?????????? ? ??????
    ???-??????????? ??? ?????? (?) ? ??????????? (?)
    ??????? Si/SiO2

13
??? ????? ??? U??1.2 ?
I??, ???/?? U??0.3 ? U??1.2 ?
I1 0.128 1.284
I2 0.127 1.276
I3 0.127 1.277
I1 - lcrit 10 ??, ?????? ??????? I2 - lcrit
10 ??, ?????? I3 - lcrit 12 ??, ??????
???????.
14
??????????
  • ??????? ??????? ????????? ????????????????
    ???????, ? ??????? ??????????? ?????
    ????????????? ?????????? ?????????.
  • ?????????? ????????? ?????? ????????? ???????
    ??????????? ? ????? TCAD ? ??????????? ???????
    ??????? ???????.
  • ???? ?????????? ?????????????? ?????? ?????????
    ?? ??????????? ?? ???? ??????????
    ?????????????????? ????? lcrit ?? ????????,
    ??????????????? ?????? ???????????.
Write a Comment
User Comments (0)
About PowerShow.com