Slide sem t - PowerPoint PPT Presentation

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Slide sem t

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Title: Slide sem t tulo Author: Renato Perez Ribas Last modified by: Jacobus W Swart Created Date: 4/29/1999 6:29:07 PM Document presentation format – PowerPoint PPT presentation

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Tags: applications | mems | sem

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Title: Slide sem t


1
Dispositivos para Sistemas Ópticos
2
Micro-Espelhos
  • fixos e móveis
  • horizontais e verticais

3
Chaveamento Óptico
Estrutura mecânica ressonante
4
Micro-Estruturas Mecânicas
5
Estrutura Comb Drive
massa móvel
  • acelerômetro
  • filtro mecânico
  • atuadores ressonantes

parte fixa
y
x
6
(Micro-) Motores e Engrenagens
7
Micro-Fluídica
  • Válvula (surface / back-side bulk
    micromachining)
  • Bomba de Propulsão (processo híbrido)

fluxo
fluxo
entrada
fechada
fluxo
saída
aberta
8
Componentes para Circuitos Microondas
9
Linha de Transmissão
linha metálica
plano de massa
10
Indutor Espiral Planar
11
Indutor Espiral Planar...
  • Membrana

open areas
  • Linhas Isoladas

12
Transformadores Planares
  • Cp Cs
  • 40fF ? 15fF
  • Cm
  • 200fF ? 80fF

13
Modelagem e CAD
Formulação Matemática
14
Linguagem de Descrição de Hardware
Analógico HDL-A Spectre-HDL VHDL 1076.1 VHDL-AMS
LIBRARY conserved_systems USE
conserved_systems.nature_pkg.ALL ENTITY
piezopress_equ IS GENERIC (h real
17e-6 -- plate thickness
a real 1e-3 -- plate side
length r0 real
-- nominal resistance
rs real) --
sensitivity PORT (TERMINAL fp fluid
-- fluidic pin
TERMINAL ep electrical) --
electrical pin END ENTITY piezopress_equ ARQUIT
ECTURE equ OF piezopress_que IS CONSTANT
e0 real 146.9e9 -- Si elasticity
N/m2 CONSTANT v0 real 0.1846
-- Si Poissons ratio CONSTANT df real
e0h3/(12(1-sqr(v0)) -- rigidity
QUANTITY v ACROSS i THROUGH ep TO ground
QUANTITY p ACROSS ft TO fld_gnd
QUANTITY w11 real --
deflection coefficient BEGIN (w11/h)3
0.2522w11/h 0.000133pa4/(dfh) i
v/(r0 rs2.52231.5895e9w11) END ARQUITECTURE
equ
Sensor de pressão piezo-resistivo
15
Simuladores de Usinagem
16
Conclusão
  • Área de desenvolvimento promissora
  • Identificação de aplicações potenciais
  • Criatividade na criação de dispositivos
  • Equipes de trabalho multi-disciplinares

17
  • Fotos
  • Sandia National Laboratories
  • MCNC MEMS Technology Applications Center
  • TIMA Laboratory - INPG
  • University of Wisconsin - Madison
  • Journal of Microelectromechanical Systems
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