Title: Slide sem t
1Dispositivos para Sistemas Ópticos
2Micro-Espelhos
- fixos e móveis
- horizontais e verticais
3Chaveamento Óptico
Estrutura mecânica ressonante
4Micro-Estruturas Mecânicas
5Estrutura Comb Drive
massa móvel
- acelerômetro
- filtro mecânico
- atuadores ressonantes
parte fixa
y
x
6(Micro-) Motores e Engrenagens
7Micro-Fluídica
- Válvula (surface / back-side bulk
micromachining)
- Bomba de Propulsão (processo híbrido)
fluxo
fluxo
entrada
fechada
fluxo
saída
aberta
8Componentes para Circuitos Microondas
9Linha de Transmissão
linha metálica
plano de massa
10Indutor Espiral Planar
11Indutor Espiral Planar...
open areas
12Transformadores Planares
- Cp Cs
- 40fF ? 15fF
- Cm
- 200fF ? 80fF
13Modelagem e CAD
Formulação Matemática
14 Linguagem de Descrição de Hardware
Analógico HDL-A Spectre-HDL VHDL 1076.1 VHDL-AMS
LIBRARY conserved_systems USE
conserved_systems.nature_pkg.ALL ENTITY
piezopress_equ IS GENERIC (h real
17e-6 -- plate thickness
a real 1e-3 -- plate side
length r0 real
-- nominal resistance
rs real) --
sensitivity PORT (TERMINAL fp fluid
-- fluidic pin
TERMINAL ep electrical) --
electrical pin END ENTITY piezopress_equ ARQUIT
ECTURE equ OF piezopress_que IS CONSTANT
e0 real 146.9e9 -- Si elasticity
N/m2 CONSTANT v0 real 0.1846
-- Si Poissons ratio CONSTANT df real
e0h3/(12(1-sqr(v0)) -- rigidity
QUANTITY v ACROSS i THROUGH ep TO ground
QUANTITY p ACROSS ft TO fld_gnd
QUANTITY w11 real --
deflection coefficient BEGIN (w11/h)3
0.2522w11/h 0.000133pa4/(dfh) i
v/(r0 rs2.52231.5895e9w11) END ARQUITECTURE
equ
Sensor de pressão piezo-resistivo
15Simuladores de Usinagem
16Conclusão
- Área de desenvolvimento promissora
- Identificação de aplicações potenciais
- Criatividade na criação de dispositivos
- Equipes de trabalho multi-disciplinares
17- Fotos
- Sandia National Laboratories
- MCNC MEMS Technology Applications Center
- TIMA Laboratory - INPG
- University of Wisconsin - Madison
- Journal of Microelectromechanical Systems